无尘室的定义

无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。

无尘室是指可以将环境因素控制在规定数值内的空间，称之为无尘室。室内环境因素包括 空气中：微生物、微尘粒、气体分子、温度、湿度、气流流型、风速、压差、照度、噪音、微振动、静电、风量、电磁波等无尘室是指将一定空间范围内之空气中的 微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特 别设计之房间。

亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。

无尘室也称洁净室，是指一个具有低污染水平的环境，这里所指的污染来源有灰尘，空气传播的微生物，悬浮颗粒，和化学挥发性气体。更准确地讲，一个净室具有一个受控的污染级别，污染级别可用每立方米的颗粒数，或者用大颗粒大小来厘定的。

低级别的净室通常是没有经过消毒的（如没有受控的微生物），更多的是关心空气传播的灰尘。

净室被广泛地应用在对环境污染特别敏感的行业，例如半导体生产、生化技术、生物技术、精密机械、制药、医院等行业等，其中以半导体业其对室内之温湿度、洁净度要求尤其严格、故其必需控制在某一个需求范围内，才不会对制程产生影响。作为生产设施，净室可以占据厂房很多位置。

无尘室系统制造符合规格之洁净空气，连续且稳定供给足够之洁净空气于使用端，洁净室内的制造区（FAB）。一般而言，制造洁净空气之气源为外气（OUTSIDE AIR），经过洁净室系统各种处理单元设备之处理后进而得到符合规格之洁净空气。

以下简单介绍其处理流程：外气经由外气空调箱（Make-up Air Unit或MAU）初步过滤微尘（particle）并控制其温湿度后，经由回风管道间（Mech. Chase），将洁净室之循环风量与外气空调箱之补充风量混合，经由冷却盘管（Dry Cooling Coil）将回风管道间之回风降温至净室要求之规格，通过循环风扇（Fan Filter Unit或FFU）带动洁净室的气流循环带走微尘及热量，经过超高性能过滤网（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）过滤后，供应至Fab区。