洁净室内压力小于08mpa等于的氢气、氧气、氮气、压缩空气、煤气等一般气体和高纯气体管道及真空管道的安装。气体管道管材的型号、规格、化学成份及物理性能应符合设计要求。管道的表面无裂纹、缩孔、夹渣、起瘤、折迭、重皮、锈斑和麻点等缺陷。

气体管道的附件应符合下列要求：

一、阀门与氧气接触部分不得用可燃材料，其密封圈应采用有色金属、不锈钢及聚四氟乙烯等材质。填料用经脱脂处理的聚四氟乙烯；

二、气体管道的法兰垫片应符合设计要求，材质柔软、无老化变质和分层现象，表面不应有折损和皱纹等缺陷；

三、氢、氧管道的附件、仪表及过滤器等，其材质、型号和规格应符合设计要求，并有符合该介质条件的出厂合格证书。

气体管道安装应符合下列要求：

一、洁净室管道敷设应符合设计要求，设计无要求时，输送干燥气体的管道宜水平安装；输送潮湿气体的管道应安装成有不小于0003的坡度，坡度应坡向冷凝水收集器；

二、管道的连接采用焊接，并采用钨极氩弧焊打底，手工电弧焊盖面工艺。不锈钢管焊接或点固焊均应采取管内充氩保护措施；

三、气体管道与设备、阀门及其他附件应采用法兰或螺纹连接。螺纹接头的填料必须采用聚四氟乙烯薄膜；

四、通过洁净室的气体管道，其法兰垫片或螺纹填料的外露部分，必须清理干净；

五、气体管道采用喷砂除锈或酸洗钝化的无缝钢管时必须采用集中安装方式，并在48h内分段组合安装，充入压力不小于02mpa的氮气保护；

六、有接地要求的气体管道，法兰间必须焊有导电跨线，其导线截面及焊接搭接长度应符合设计要求，焊点必须牢固、可靠。

高纯气体管道的安装，除应符合第444条有关要求外，还应符合下列要求：

一、经脱脂或抛光处理的不锈钢管，安装前必须采取保护措施，严防二次污染；

二、管口切割后，应进行清洗，再进行分段组装焊接；

三、管道预制、分段组装作业，必须在环境清洁的条件下进行，严禁在室外露天作业；

四、分段预制或组装的管段两端应用塑料布或盲板封闭，不得污染。

第446条无缝钢管的处理应符合下列要求：

一、无缝钢管安装前应清除管内外表面的铁锈、污物。管道内壁除锈应根据设计要求进行，当设计无要求时，可按其管内锈蚀情况采用一般除锈、喷砂除锈和酸洗、钝化处

二、氢、氧管道安装前，必须对油渍、铁锈进行除锈或酸洗后再进行脱脂处理；

三、钢管酸洗、钝化或脱脂后，应清除管内残留的溶液，并将处理合格的管道及时封闭管口；

四、脱脂后的管道、管件和垫片，安装前必须严格检查，用清洁、干燥的白色滤纸擦拭，不出现油迹为合格。

气体管道各项试验合格后，必须用经过滤器去除尘埃后的无油压缩空气或高纯氮气吹扫，流速大20m燉ｓ，并以木槌在管道各处轻轻敲击，直至末端无水迹、脏物为合格。高纯气体管道系统，末端测定的尘埃数，达到设计要求为合格。过滤器的过滤效率应满足气体管道系统工艺对尘埃的要求。

第448条气体管道吹扫合格后，应再以实际输送的气体和压力，对管道系统进行吹扫，在运行条件下无异常声音和振动为合格。气体管道输送可燃性气体之前，应用惰性气体置换。