FFU的全称叫FAN FILTER UNIT，“风机过滤单元”，也就是风机和过滤器联结在一起，能自己提供动力的洁净设备。早在二十世纪六十年代，第一个层流室的建立就已经开始出现FFU的应用了。

FFU最早出现于一些有高洁净度(≥100级 联邦标准209E)要求的改造项目当中，用来解决以下三方面的问题：

一、洁净室吊顶空间不够

在一些有高洁净度要求的场合，FFU洁净厂房吊顶上部的送风静压箱有一个很大的作用就是来平衡洁净室的横断面上的压力，但是当使用FFU的时侯，洁净室的吊顶被分成了若干模块，我们可以通过调节每个模块(即FFU)来满足吊顶上部送风静压箱的压力平衡的要求，从而大大降低了对该静压箱高度的要求。在一些改造项目当中，当受层高限制时，FFU有效地解决了这一问题。

二、FFU洁净厂房静压不足

在一些改造项目中，由于条件限制，使得送风阻力很大，单独靠空调机组的送风压力来克服有困难，由于FFU自带动力，可以很好地解决这一问题。

三、空调机房面积不够

有一些改造项目，由于空调机房面积较小，不可能容纳大的空调机组，此时，用FFU的自带动力来弥补这一缺陷，从而可以减小使用的空调机组。这一优势也被应用到一些洁净度要求较低(如 1000级 10000级 联邦标准209E)的场合。
但直到1984年，在亚洲才出现大规模应用FFU的事例（大约有5000台）。是什么原因导致FFU在这么长的时间没有得到广泛的发展呢？有三个问题占主导地位。

第一：噪声问题。各位可以想一想，在当时的生产工艺水平下，5000台风机在一起的噪声会是多大呢？

第二：压力平衡。在很大的静压箱里，每一个不同角落的风机是否能得到均衡的压力，这在当时也是不能够得到保证的。

第三：维护问题。FFU本身造价就比较高，如果它的电机寿命不能保证的话，更换又会带来附加投资。这些都是造成当时的企业不选择使用FFU的主要原因。但是这一切，在1984年都发生了改变。首先是噪声问题得到了控制，大规模的FFU洁净厂房都可以把噪声控制在65DBA以下，这符合工业厂房的标准。其次随着自动控制的发展，监测和调节各个角落的静压也变得容易起来。最后电机的寿命随着技术的提高也得到了质的飞跃。现在，随着半导体电子技术的发展，越来越密集的集成电路也要求着越来越高的洁净等级。国家之所以大力推广FFU，正是因为它本身的优势。

第一、灵活性。因为FFU是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里，可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应调整，FFU的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

第二、可再利用性。从理论上讲，一时不用的FFU设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三、负压通风。这是FFU的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁静厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区里，使得密封变得很简单而且安全。

第四、缩短建设周期。使用FFU省掉了风管的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用FFU成为了一种可能。

第五、减少运行成本。虽然在选用FFU时，初期投资要比使用风管通风高，但它在后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。比用常规的空调机组集中送风减少约40%的运行成本。